二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293795170 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3掩模對齊器是一種用於在晶圓上精確對齊和對齊掩模的設備。MICROTEC MJB3利用3軸級,能夠在水平、垂直和深度方向移動掩碼。它還具有兩個可獨立調節的步進電機驅動級，用於在晶圓上精確定位掩模。顯微鏡在X-Y方向上具有0.1 µm的分辨率，在Z軸上具有0.05 µm的分辨率。KARL SUSS MJB3是專門為光刻而設計的，使其成為當今最全面的掩模對齊器之一。這種蒙版alinger非常適合創建不同形狀和大小的蒙版,並具有出色的粒子級效果。其視野為12毫米x 12毫米，X-Y方向分辨率為0.1 µm，Z-軸分辨率為0.05 µm。它能夠輕松擴展其視野,非常適合創建具有緊密幾何形狀的復雜陣列。KARL SUSS/MICROTEC MJB3在顯微鏡下具有微焦調，精度和可重復性高達1.0 µm或更高。這種調整焦點的能力使得它非常適合創建具有小幾何特征的高精度蒙版以及光敏基板。也可用於高精度打造高達0.5 µm的線寬。此外,MJB-3還提供了多種有用的功能,包括集成的Wafer Sense控制,使掩模與晶圓精確對齊,數據存儲和分析功能,以便在設計掩模時參考,以及可調節的掩模框架尺寸,最大可達126 mm。它還包括一個集成的定位系統、準直載波、照明和安全系統、一個頻率發生器和光學濾光片以及各種不同的光源。總體而言,MICROTEC MJB3掩模對準器是一種用途廣泛的高精度設備,專為光刻和掩模對準而設計。MICROTEC MJB3通過其三軸級、精細聚焦調整和廣泛的特性,在創建不同形狀和大小的掩碼時確保了精確的對齊和可重復的結果。它非常適合創建高精度的復雜圖樣,以及創建光敏基板和最大0.5 µm的線寬。