二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293797042 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3 Mask Aligner是專為4英寸和6英寸基板上的高分辨率接觸光刻而設計的全容量對準和曝光設備。MICROTEC MJB3采用原位聚焦監視器、高速自動對焦、集成電動Z級和高精度晶圓對準,在生產精細微結構時提供了無與倫比的精度。光學元件也非常堅固,提供出色的線性、高對比度和銳利的圖像。為了對系統進行精確控制,KARL SUSS MJB3配備了一個優化的數光控制單元,用於可重復的高精度對準、聚焦、曝光和級步長。該機器可以很容易地與MICROTEC MJB3的直觀軟件相連接，開發來簡化復雜的光刻工藝。它為驅動參數、對象大小選擇和機器配置提供了用戶友好的設置,使用戶能夠快速輕松地創建可靠的流程。軟件還提供了設置和結果的全面日誌記錄,以進行詳細的工具性能分析。為了優化每個應用程序的曝光，資產包括各種照明設置和可變數值孔徑。可變數值孔徑可確保根據結構尺寸和分辨率要求實現所需的分辨率。反射和吸收優化的光學元件還允許用戶將長寬比變化到8英寸。這通過優化要與掩模匹配的設計長寬比來確保盡可能高的分辨率。對於晶片裝卸，MJB3型號提供手動裝卸或帶可調節支架的集成盒式裝載機，最多可容納12個晶片。盒式磁帶裝載機提供低至10°C的控制溫度條件。再者，可以使用傾斜和旋轉功能來調整每次射擊的晶圓方向。總體而言,MJB-3 Mask Aligner提供精確的平版印刷模式,具有可重復的精度和高分辨率。其精確的光學器件、先進的軟件、優化的對準和曝光設置以及改進的裝卸設備，使其成為業界接觸光刻工藝的理想選擇。