二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9024175 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一種掩模對齊器，或微光刻工具，用於半導體制造。該工具主要用於晶片光刻、光學接近校正和光電檢測過程中的晶片圖樣化。MICROTEC MJB3具有極其精確和高分辨率的階段，提供了最準確的結果。KARL SUSS MJB3對齊器由KARL SUSS/MICROTEC MJB3基平臺、基板對齊系統（SAS）和專利的掩模對齊傳感器陣列（MASA）組成。基礎平臺是用裝有激光引導對準系統的穩定級建造的。該系統的設計目的是在光刻過程中保持基片相對於掩模的水平。SAS是一個六軸手動級，允許對基板地面進行精確定位。最後，MASA由四個固態攝像機組成，為用戶提供曝光面罩設計的實時反饋。KARL SUSS MJB-3對齊器在精密掩碼配準方面提供卓越的性能,其功能包括光動基板配準、自動模式生成和自動運行對齊。光激活基板註冊允許同時註冊多達十二個晶片。此功能使用戶能夠減少設置時間並提高總體吞吐量。「自動陣列生成」功能允許用戶快速創建新的蒙版,即使這些蒙版以前沒有任何蒙版設計經驗。最後,「自動運行對齊」功能使用戶能夠將預先形成的掩碼精確註冊到基片上。此外,MJB3還提供其他功能,如高通量聚酰亞胺研磨、單基板模式和可再生基板註冊。這些功能允許用戶通過減少用於輔助處理任務的時間和減少掩碼註冊時間來最大化吞吐量。總體而言，MICROTEC MJB3掩模對準器是半導體制造的重要組成部分，為用戶提供卓越的精度和高分辨率。此對齊器提供高效的處理功能,其功能允許快速創建新的掩碼並同時註冊多個晶片。