二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9183456 待售

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KARL SUSS / MICROTEC MJB-3
已售出
ID: 9183456
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一種先進的掩模對齊器,支持對基板和晶圓上的亞微米圖樣進行光刻。MICROTEC MJB3提供1微米的最大分辨率,大場大小可達80x80mm,可為小特性提供高精度和廣域覆蓋。它配備了分辨率為0.25微米的數字圖像傳感器,為掩模和基板提供了準確、可重復的對準。為了實現對齊,KARL SUSS MJB3采用了專利的8點對齊工具,允許用戶在曝光前準確地建立參考位置。蒙版對準器還提供了在曝光期間調整暴露參數如劑量、焦點和對準等的靈活性。MICROTEC MJB3采用高效對流冷卻光源,無需外部冷卻系統。還加入了實時成像系統,允許在掩模沿X和Y軸移動時實時顯示和對齊掩模和基板。KARL SUSS/MICROTEC MJB 3還具有先進的自動聚焦系統,可確保每次曝光都處於焦點狀態,甚至自動調整每個孔徑大小的焦點,以確保一致、可重復的結果。MJB3由堅固的材料如不銹鋼和鋁合金構成,確保了使用壽命的可靠性。此外,其專利設計易於操作和維護;它允許對組件進行高效調整,並具有簡化的用戶界面。這使用戶能夠快速準確地校準掩模對準器,並通過自動調整系統參數進行必要的調整。總之,MJB3是一種先進的掩模對齊器,具有較高的準確性和可重復的結果.其高效的光源和堅固的施工保證了可靠的運行和較長的使用壽命。憑借其用戶友好的設計和先進的功能,KARL SUSS MJB3允許用戶實現可靠和高質量的光刻結果。
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