二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9211064 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3掩模對準器是一種精確可靠的掩模對準設備，用於許多光刻應用，包括光掩模檢查和曝光。此對齊器專為高分辨率曝光應用而設計,非常適合在晶片上創建超精細特征。它具有一個可在1微米精度內將光掩模與基板對齊±步進重復主軸，這種定位是通過精確的電機驅動的單軸和多軸運動完成的。它還具有廣闊的視野，以容納更大的基材和晶圓。MICROTEC MJB3具有改進的光學系統,使用戶能夠使用低分辨率成像模式在遠距離、高分辨率和遠距離工作範圍之間切換。低分辨率成像模式允許用戶通過檢測光掩模因其透明度和反射率的變化來確認對準和選擇最佳曝光劑量。高分辨率成像模式使精確的檢查和精確的位置能夠在延長的使用壽命內實現可重復和可靠的性能。此外,KARL SUSS MJB3還集成了自動晶圓處理系統。該單元在暴露過程中提供精確的定位和對基板的臨時錨固。該機器還使用戶能夠將曝光劑量設定為每百萬像素100個成像點，均勻度± 1%。而且，這種最先進的工具還配備了激光微米，能夠對光掩模進行精確的非接觸式掃描。總體而言,KARL SUSS MJB3掩模對齊器是一種高效、精確的資產,為光刻操作提供可靠的性能。成像、定位和自動晶圓處理系統的結合允許各種應用程序具有準確性和可重復性。此模型還減少了停機時間,提高了生產率,並以較少的錯誤廣播了較小的功能。