二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9248455 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是為各種材料的精確、大規模對準而設計的光學掩模對準器。它通常用於從光刻到微加工的應用，以及用於創建有圖樣的基板。這種高度精確的設備采用先進的光學設備、自動對焦控制和可變壓力手動對準。MICROTEC MJB3具有兩個主要部分：一個是安裝板固定並精確地在基板上移動掩模的掩模機器人,另一個是使用掩模機器人精確定位基板的微操縱器。掩模機器人包括精確的XYZ電機，可移動兩級：一級用於掩模對準，另一級用於基板對準。KARL SUSS MJB3的相對對準精度為0.2 µm。此外,KARL SUSS/MICROTEC MJB3還具有高分辨率、單層對齊能力,可達1.2 µm。它還提供了單面罩和雙面罩對齊方式、高達25.4 µm的分辨率和4、8或12英寸面罩之間的選擇。為確保精確對準，KARL SUSS MJB3在微操縱器中采用了最先進的激光對準系統。此單元包括單波長和雙波長（紅/綠）選項。它的兩波長機器在掩模定位上允許更高的精確度，而它的單波長工具最適合使用綠色的薄膜掩模。MICROTEC MJB3還采用了一種精密的方法來測量掩模對準精度。它使用特殊的接觸測量，包括測量膜罩邊緣與基板邊緣之間的差值，精度為0.1 µm。該裝置還具有真空卡盤，在對準時提供可靠的基板保持。這個卡盤用來保護底物免受抽動.此外，對於需要更高夾緊力的基板，可以選擇壓力控制選項。簡而言之，MICROTEC MJB3是一款高精度、大型的掩模對齊器，專為多種應用而設計。它提供可靠的對準精度、自動對焦控制、可變壓力手動對準以及多種掩碼配置。這種裝置非常適合批量生產光刻和微加工，以及制造有圖案的基板。