二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9248457 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一種掩模對齊器，一種用於制造集成電路的半導體計量設備。MICROTEC MJB3配備了一個特殊的腔室，使用戶能夠以亞微米精度在標準晶片和高級晶片上制作復雜的設計。這是通過將晶片表面暴露於來自激光器的聚焦光中來實現的，以便將圖樣從包含電路設計的掩模傳輸到晶片上。KARL SUSS MJB3憑借其先進的掩模對準技術以及低成本、高效的光學元件，能夠提供高通量和高產率。該設備配備了四軸對象透鏡級鏡面輔助光學對準裝置，可實現精確的步進對準，最大吞吐量。最重要的是，它的「雙鏡頭」光學設備彌補了單個口罩的分辨率可能與設計的目標分辨率略有不同的事實。為了降低制造成本和缺陷，KARL SUSS MJB-3采用了光學系統散焦調節和各種先進的放大和照明參數。其7英寸步進鏡頭還減少了對焦誤差，確保整個電路設計均勻暴露在其精確的激光光源下。MICROTEC MJB3還利用對流冷卻的遮罩支架，減少遮罩的熱扭曲，從而導致設計模糊或不對準。MJB3采用重型密封鋁制外殼結構,可確保該單元不會振動,並且易於搬遷。這對於高效晶片制造很重要，因為不同的晶片可能需要不同的取向。此外，該設備還配備了視頻監控、直接報警機和照明標線，每次都能提供一致的結果。MJB-3是薄膜和大面積晶圓加工等多種應用的理想掩模對齊器。該設備與大多數晶圓設計、偏振器和光掩模材料兼容，使其成為所有半導體制造應用的通用可靠解決方案。