二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9257920 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一種用於直接寫入電子束光刻的掩模對齊器。它由電子槍、對準級、晶圓級和圓柱組成。電子槍發射一個聚焦電子束，其精確度足以產生小到10納米的線條和形狀。對齊階段將選定的標線保持在相對於晶圓具有精確和可重復位置的位置。該級可以進行優化，以準確、精確地跟隨電子束結構，允許重復曝光。可以在對準級加入參考透鏡，讓電子束聚焦和放大到晶圓上。晶片級是保持基板、抵抗和對準目標以進行曝光的地方。這一階段沿X和Y軸具有高度的準確性和可重復性。這些級可以配置為各種晶圓大小,能夠在一個會話中掃描多個晶圓。該柱包含一系列聚焦電子束的透鏡、光圈和柵極。這些組件協同工作以優化梁的形狀、大小和強度,即使在密集的環境中也能精確獲取陣列數據。MICROTEC MJB3有一個強大的軟件包，可以控制對齊器，並能夠精確地形成復雜的層。它還可以配置一個環境室，使其能夠在存在水蒸氣、濕度和熱量的情況下運行。這允許用戶進行更精確和可重復的曝光。先進的對齊器、精確的晶片級和強大的軟件相結合，使得KARL SUSS MJB3適合高通量、高分辨率生產半導體電路和器件。特性的結合也使得它成為定制模式和原型集成電路的絕佳選擇。