二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9270076 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是為光刻生產而設計的光學掩模對齊器。它是一種多用途、高精度的工具，用於創建微電子工業中半導體器件所用的超精細圖樣。MICROTEC MJB3具有折射掩碼對準功能。它由提供x、y、z軸運動的壓電級驅動。KARL SUSS MJB 3還有一個可變相機設備，用於大小比例的模式傳輸。這個系統還包括一個可變還原成像單元，這是一個創新的功能，允許極精確的定位和放大具有廣泛的模式大小。KARL SUSS/MICROTEC MJB3的設計目的是確保高精度和吞吐量達到600 mm晶圓。它提供出色的圖像穩定性、分辨率和圖像重叠特性,使其適合積極的光學印刷應用。MICROTEC MJB-3通過獲得專利的垂直進給通路（VFT）實現了先進的位置精度,這是一種可調導引機。VFT允許對曝光進行可重復的旋轉對齊,提供無間隙的配準,以確保即使在多次曝光後的準確性。MJB-3還配備了一個機械自動裝卸工具，它提供了可靠和可重復的晶圓交換與最小的操作誤差。此資產是自動化的,可處理25毫米至600mm的晶圓尺寸,重復註冊精度不超過5微米。高精度照相光學器件消除了手動鏡頭優化的需要，允許光學器件快速可靠對準，從而實現高吞吐量和高效率。KARL SUSS MJB3還包括一個軟件控制的過程模型，它允許輕松設置曝光參數和其他相關數據。此設備提供了照片處理過程中每個步驟的詳細控制記錄,還提供了對所有故障的輕松訪問,可以根據需要進行糾正。總體而言,MICROTEC MJB3 Mask Aligner是用於光刻生產的高精度工具,旨在提供最高精度和吞吐量。KARL SUSS/MICROTEC MJB3具有折射掩模對準能力、可調導引系統、機械自動裝卸單元、照相光學、軟件控制的加工機等功能，是創建微電子所必需的模式的可靠工具。