二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9281943 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一款全自動Mask Aligner,專為解決高質量的圖樣和蝕刻應用而設計。該裝置提供50 µm的最大粉末分辨率,1.2 µm的最小特征尺寸,10 µm的最大動態範圍,0.5 µm的最小光束尺寸。此外,MICROTEC MJB3具有廣泛的功能,包括獲得專利的自動對齊程序、自動缺陷識別以及增強的光束路徑控制設備,能夠進行真正的3D地形測量和後續的層覆蓋範圍優化。掩模對準過程由先進的硬件和軟件系統提供動力,其中包括高分辨率CCD攝像頭、高精度伺服電動機以及具有復雜模式對準和計量軟件的專用計算機。這種裝置能夠在幾微米的公差範圍內將掩模極高的精度對準基板。強大的對齊機和先進的硬件為可靠、準確的無接觸模式對齊提供了手段,減少了設置時間。KARL SUSS MJB3采用集成的晶圓輸送器工具和全封閉掃描平臺,提供了高效的處理解決方案。它可以提供高達每小時20個晶圓的高效吞吐量,並提供靈活的高混合參數,非常適合各種應用。這種裝置與廣泛的材料兼容,使其適合多種材料加工應用,包括光刻和蝕刻。MICROTEC MJB3設計為精確、可重復和可靠的操作,具有持久、可靠、易於維護的設計。集成的過程監控系統可確保產品產量完美無瑕和可重復的準確性能,而且通用的軟件資產允許對具有更新參數的不同作業進行快速而簡單的調整。這種強大而靈活的模式得到了強大的客戶服務團隊的支持,並具有快速的響應時間和專家技術建議,以確保客戶滿意度達到最高標準。
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