二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9284673 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一種最先進的遮罩和標線對齊器，用於精確對齊用於光刻的基板。這種先進的設備利用具有多傳感器頭的成像計算機來檢測和驅動兩個基板之間的對準。MICROTEC MJB3可以實現15 nm以內的差分狹縫測量,從而在納米級設計中實現完美的對齊。該機設計為工作與各種基材尺寸，從6英寸到12英寸方塊。當CCD攝像機在整個對準過程中監視零件的位置時,真空卡盤系統可以牢固地固定零件。為了提高精度和分辨率,成像裝置采用了專利的超精確精細對齊技術。為了檢測和實現對準,KARL SUSS MJB3采用了一個專門的磁頭,該磁頭具有四個角邊傳感器、四個頂部參考傳感器和四個邊緣參考傳感器。這種傳感器陣列與高分辨率光學器件相結合,能夠以高精度快速對準。KARL SUSS/MICROTEC MJB3還具有直觀的圖形用戶界面,使工程師能夠輕松查看和調整與作業相關的參數。這包括復雜的圖像分析、圖像捕獲和標記、實時自動調整以及使用日誌記錄等功能。此外,機器還跟蹤和存儲用戶定義的參數和設備歷史記錄,從而方便地召回和重新運行成功的作業。總體而言,KARL SUSS/MICROTEC MJB3是一款非常先進且精確的掩蔽和標線對齊器,即使是最復雜的光刻項目也能提供高分辨率對齊。