二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9397194 待售
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單擊可縮放
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是一種用於微電子制造的頂級掩模對齊器。它是一種用於晶片對準和粘合的接觸對準機器,采用數字成像顯微鏡和精密對準平臺的組合,將主掩模和光刻矽片精確組合在一起。光學設備可在XY軸中精確對準,分辨率高達0.5 μ m。先進的伺服控制系統確保了精確的對準和粘結配準。它還允許在與一個特殊的軟件結合使用時快速和容易的模式對齊。這臺機器配備了各種對齊和粘合功能,如類型和點擊對齊、自動縮進對齊、點查找和手動覆蓋。類型和單擊功能使用帶有自動偏移調整的十字毛對齊器來對齊具有特定模式的主晶片。自動縮進對齊功能允許機器識別並快速執行平版印刷圖樣中特征的最佳對齊,而點查找功能允許操作員將給定點移動到同一平版印刷圖樣中的另一點。手動覆蓋功能允許用戶對對齊方式進行額外的手動調整。此掩碼對齊器還利用了先進的硬件體系結構,該體系結構具有易於使用的觸摸屏、可編程溫度控制和內置操作單元,可提供數據記錄、自我診斷以及用於控制和操作機器的安全環境。機器的集成安全性和用戶控制功能確保只有授權人員才能訪問機器及其數據。MICROTEC MJB3是用於最精確的微電子應用的可靠、易於使用的對準和鍵合工具。
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