二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-4 #293751563 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-4是MICROTEC開發的掩模對齊器。它是一種全場、高精度的接觸對準設備，專為非均勻基板而設計。它由一個精確的可移動x/y級和一個對準物鏡組成，允許光刻操作期間光刻膠的精確微孔對準。系統有兩個主要組件：主支架和對齊目標。主支架將基板與機械夾具固定在適當的位置，對準目標提供一個原本對齊的光刻標線的精確對準。機械夾具提供了穩定性，同時最大限度地減少了由於高夾緊壓力引起的對準失真。目標包含精確的可調透鏡，以提供必要的對準精度。MICROTEC MJB4的精度是通過使用一個專有的運動學單元來實現的，該單元由可調切向力彈簧控制的極平坦、平行的表面玻璃板組成。壓力補償機的精確度允許極精確的微觀模式曝光。對準目標配備了依賴於速度的電子聚焦驅動器，允許基板的快速和精確對準。KARL SUSS MJB4具有全場曝光工具，允許輕松地曝光大型基板。該資產能夠在x軸和y軸上實現亞微米分辨率,從而確保陣列的精確曝光。支持夾具配件為具有不同形狀、尺寸和材料含量的基板提供了廣泛的適應範圍。此掩模對齊器非常適合從事微電子、光電、平板顯示技術和其他精密光刻應用的組織。它提供了卓越的準確性和可重復的性能,能夠在全場曝光操作中提供高質量的結果。