二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-4 #9395957 待售

KARL SUSS/MICROTEC MJB-4是為電子和微機械工業中的光刻工藝設計的掩模對齊器。設備為雙軸系統，可處理接觸面罩、光學光刻用投影面罩、微機械用半透明升空面罩等多種光掩模。其自動化平臺采用高精度四軸對準單元，可實現精確、準確、可重復的掩模定位。這有助於優化晶圓上創建的圖樣的準確性和質量。MICROTEC MJB4配備高分辨率傳輸CCD相機和高效照明投影機。這個90瓦的短弧HID頭提供均勻的照明和高通量,並且能夠在幾種不同的波長輪廓選項下工作。此外，其先進的電子設備確保曝光時間始終一致，並且在過程中基板上的圖樣不會移動。該工具的成像軟件在光刻過程中是一個非常寶貴的工具,它為參數輸入、配方創建、對齊設置、數據日誌記錄和過程結果提供了易於使用的圖形用戶界面。還可以建立數據日誌以檢索流程數據,如焦點、曝光時間和掩碼位置,以便對流程進行故障排除和優化。此外，該軟件還能夠識別各種基板尺寸，以便適當地調整每種基板的對齊設置。KARL SUSS MJB4還采用高精度級資產和壓電電機控制技術進行精確對準，進一步降低了產生模式失真的風險。此外，該模型還包括晶圓級溫度控制技術，允許改進圖樣放置精度，提高晶圓平整度，以及更高質量的打印。最後，設備具有內置的安全功能，讓用戶在使用有害材料時安心。這使得KARL SUSS MJB4成為那些希望開始或改進其當前光刻操作的人的理想選擇。其用戶友好的操作和內置的安全協議使其成為任何實驗室的寶貴補充,其準確、可重復和高分辨率的曝光特性使其成為那些希望產生高質量晶圓模式的人的首選。