二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-55 #9131891 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MJB-55是一種具有晶圓處理能力的高精度5軸掩模對準器。它旨在將光掩模的圖樣精確地傳遞到光刻塗層的基板上。MICROTEC MJB-55利用PC控制的精密5軸線性和旋轉運動的獨特組合,使其能夠精確地在基板上傳遞和對齊圖樣。該設備旨在提供快速、準確的圖樣傳輸時間,非常適合采用高速光刻或快速原型制作等掩模工藝。KARL SUSS MJB55最多可容納6英寸底物，並提供標準的x-y級，最大行程160毫米。它具有多個級配置,包括單級、雙級或三級掩模級,采用線性伺服電動機和編碼器技術進行高精度對準,需要低維護。X-Y-θ-φ-W對齊階段提供了操作靈活性以及出色的可重復性。此外,0-50 μ m的焦點/z範圍可在模式傳輸過程中實現穩定的焦點。KARL SUSS MJB-55配備了支持多種工藝的晶圓尺寸處理高速級。它還提供晶圓膨脹/膨脹和溫度控制，以改善對準和曝光時間。晶圓處理配件可配置用於多種基材尺寸和工藝，如自旋塗層、液體處理槽、濕法和幹法加工、溶膠凝膠、PED、CMP等。此外,系統還配備了集成的高分辨率成像對準單元和自動對焦功能,可實時對準和曝光。這樣可以實現高達1 μ m的快速、準確的模式傳輸和對齊。機器可以集成到一個生產環境中，它能夠被鏈接到一個數據收集工具。機器人集成軟件包可幫助掩模制造商優化吞吐量並節省清潔空間。此外,資產的免維護設計和直觀的用戶界面提供了方便的維護和操作,使其成為各種生產應用程序的理想選擇。
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