二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-55 #9229803 待售

KARL SUSS / MICROTEC MJB-55
ID: 9229803
晶圓大小: 5"
Mask aligner, 5".
KARL SUSS/MICROTEC MJB-55掩模對齊器是一種用於對基板和晶片進行精確和可重復的平版印刷圖樣的對齊工具。這臺機器具有可編程的精確對準和曝光能力,維護和操作簡單.MICROTEC MJB-55能夠產生8 µm和亞微米空間的最小分辨率線寬。它具有非常緊密的對準精度,最小可達到的覆蓋精度為≤2 µm。KARL SUSS MJB55擁有先進的光電池光束對準設備和自動控制功能,可實現高精度的高速度圖樣對準。該裝置是自成一體的,所有組件都集成到一個單一的儀器中。它配有5英寸孔徑和頂唇的真空卡盤、刀片和清子臺、擴散箱和晶片架。MICROTEC MJB55光學系統由兩個液冷中壓汞蒸氣燈和兩個Kohler照明級組成。光束透射標線保持在一個真空彈匣,容易加載到機器上。對齊蒙版表面位於水平掃描的曝光階段。KARL SUSS/MICROTEC MJB55使用了一個專有的光束透射對準單元,結合了激光邊緣檢測和亮場照明,以實現精度和可重復的模式。該裝置采用電動Z軸,用於舞臺和成像鏡頭的精細聚焦控制。使用高質量的光學機器對曝光情況進行監測,以便進行邊緣檢測和配準。集成控制機制可實現自動化和半自動化操作。MJB-55還配備了一系列安全功能,如近距離傳感器、端點和帶罩攝像頭。該機具有易於使用的觸摸屏界面,使設置和操作成為一個高效的過程。它設計精巧,靈活,操作方便用戶,是基材和晶片快速精確制圖的理想工具。
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