二手 KASPER / EATON Custom #318 待售
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KASPER/EATON Custom是一款先進的掩模對準設備,用於以經濟高效的方式生產集成電路。該系統能夠對用於制造集成電路設備的光掩碼進行高速處理。它是根據使用它的公司的確切規格量身定制的,以提供更大的靈活性、準確性和更高的產量。EATON Custom Mask對準器的主要部件是其單步進器、光學表、基於微處理器的控制器、電氣/機械臂和工作站。掩碼對齊器配置為具有高自動化能力的高速度和準確性。它的單步進器使用激光束將掩模圖樣暴露在晶圓上。這樣可以實現精確的模式定位和非常精確的對齊。它的光學表為調節光束的角度和達到所需的遮罩圖案投影角提供了傾斜運動。基於微處理器的控制器用於控制手臂的運動,優化圖像與掩模上圖案的重叠。這有助於確保設備功能在晶片上精確對齊,並且設備性能不受影響。電氣/機械臂用於定位口罩和工作站,使其能夠在不停止生產的情況下不斷進行調整。KASPER Custom也可用於自動對準和晶圓居中。它配備了一個視覺單元,能夠提供晶片層的高分辨率圖像,以及一個用於精確對準和居中的手動刀具定位機。此外,該工具由高級軟件提供支持,可實現高效的參數設置和計算。這有助於為集成電路設備提供經濟高效的對準。總之,Custom是一種可靠且高度先進的掩碼對齊設備,提供卓越的精度。它的組件支持高速處理和自動對齊,確保所需的設備功能準確對齊,並且設備性能保持不變。此外,它的高柔韌性提供了經濟高效的制造集成電路器件。
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