二手 MELLES GRIOT 58-805 #140303 待售

MELLES GRIOT 58-805是一款Mask Aligner，設計用於快速傳送薄膜、鋁箔蒙版晶片以及蒙版和晶片的非接觸圖像。這款Mask Aligner由MELLES GRIOT Corporation制造，基於他們的專利技術。該設備采用類似於顯微鏡的光學布局,以實現更精確的對準。58-805提供兩種截然不同的曝光模式，以滿足從MEMS和光電子學到材料研究的各種應用的精度和工藝要求。它具有長行程、一對一的成像曝光模式,用於配準精度降至0.2 μ m,允許低失真配準。全自動的可編程曝光模式可確保更高的曝光精度、更快的曝光時間以及一次運行最多16次曝光。此蒙版對齊器利用對齊設備和傳感器來精確對齊晶片、基板支架和蒙版。晶片的連接是自動的，運行時間快。對準和聚焦機構是手動操作的,精度為0.2 μ m x/y和0.1 μ m z。此外，快速對準設備和專利自動去聚焦系統是MELLES GRIOT 58-805的特點。面罩對準器的圖像和圖樣曝光單元包含一個水銀短弧和一個氙氣短弧燈照明機。光學組包含兩個同時激活的兩個燈，該工具有兩個曝光參數，每個燈一個。兩款燈的最大輸入功率為175瓦，資產還具有手動和電動電動聚焦機構，設計用於0.15 μ米聚焦精度。58-805 Mask Aligner利用基於PLC的彩色觸摸屏控制器和軟件進行用戶交互。曝光、對準、去聚焦和曝光後分析的處理參數都可以輸入到控制器中。此外，為了最大限度地提高精度和加強工藝，在對準器上安裝了一系列傳感器。總體而言，MELLES GRIOT 58-805是一款功能強大、高效的掩模對齊器，能夠快速準確地對準晶片和掩模，同時還提供低失真配準、自動可編程曝光模式和去聚焦系統等令人興奮的功能。這種最先進的設備最常用於MEMS和光電子應用，盡管它也適用於各種其他應用。