二手 MIDAS MDA-400LJ #9094346 待售

MIDAS MDA-400LJ是一種高精度的掩模對準器,專為用於微加工應用的平板掩模的對準和曝光而設計。該裝置由一個支撐一個或多個平面掩模圖樣板的基板支架、準分子激光光源和一個3軸線性電動機驅動系統組成。激光光源可用於以預設劑量照射選定的圖樣板。3軸直線電機系統用於精確控制圖樣板與基板支架之間的距離，從而確保設備兩個元件之間的完美對準。基板支架由光學編碼器驅動,該編碼器將基板精確對齊以進行曝光。編碼器測量圖樣板和基板相對於參考位置的距離，定義為X、Y和Z軸的交點。此信息隨後被設備用來調整圖樣板的位置，以便精確對齊基板。MDA-400LJ配備了分辨率為0.2 µm的X-Y表，可以精確控制基板支架的運動，並在必要時調整其位置。此外，該設備還提供了一個集成的線性編碼器，確保在曝光期間基板位置的非常高的穩定性。此外,該設備還提供了一個高分辨率的標線,可減少相鄰掩碼之間的間距誤差,從而確保超精細的圖案配準。該裝置高度可靠，設計為在廣泛的溫度範圍內重復運行。此外,MIDAS MDA-400LJ設計為與自動掩碼加載器系統集成,使設備能夠在連續操作模式下運行。該裝置還配備了全方位的安全功能，可以由交流電源或直流電源供電。總體而言,MDA-400LJ是一個非常好的面膜對齊器,適用於許多微加工應用.其高精度特性和穩定性，以及安全特性，使其成為微加工過程中進行掩模對準和曝光的理想裝置。