二手 MIDAS MDA-400M #9315581 待售

MIDAS MDA-400M是一種用於微電子器件制造的高精度全場掩模對準器。它使用掩蔽技術將圖樣從光掩蔽轉移到半導體晶圓。該裝置具有廣泛的制造應用，如薄膜晶體管、LED和OLED的制造。MIDAS MDA 400 M具有400mm的寬視場（FOV），允許進行大規模的晶圓應用。此外，對準器還具有高精度的步進重復設備。該系統可以在晶片上精確放置圖樣,從而提高產品質量。MDA-400M有一個內置的激光幹涉儀，可提供+/-5納米（nm）的圖樣放置精度。對準器還配備了一個完整的數值光學單元，允許精確的圖樣放置，可重復性為+/-0.2µm。為了提高吞吐量,MDA 400 M采用全自動對齊設置,利用機器學習算法優化模式放置。這樣可以確保生產設備的產量更高。此外,MIDAS MDA-400M在其設計中集成了一臺最先進的曝光機器,有助於確保一致的曝光和模式調整。該工具采用了超高縱橫比（SHAR）體系結構,這意味著在一次拍攝中,陣列會一次在大面積上曝光。這通過減少曝光和陣列制作時間來提高準確性和生產率。此外，MIDAS MDA 400 M的設計目的是提供安全的操作和真空安全資產，以防止過程氣體事故。該模型還具有節能功能，有助於降低設備的能耗。設備還配備了嵌入式熱管理系統，有助於確保整個對準器使用過程中的溫度穩定，從而實現更好的曝光精度和更一致的設備性能。總體而言,MDA-400M是一個非常精確的全場掩碼對齊器,專為最佳制造應用而設計。其寬廣的視野、精確的步進和重復單元，以及高精度的激光幹涉儀，確保了它可以用於精確的模式對準和廣泛的制造應用。機器的節能功能和熱管理工具也使它能夠安全高效地使用。