二手 MIDAS MDA-60FA #9302606 待售

MIDAS MDA-60FA是為高精度光刻工藝而設計的高級掩模對齊器。該設備的設計考慮到了精確度和成本效益，使其成為研究和生產應用的理想解決方案。MDA-60FA配備直徑60厘米乘深度60厘米的光學級，是目前最大的光學級之一。其高精度的加熱卡盤確保了頂尖的對準，並提供了良好的基板之間的接觸，允許精確的，高分辨率的光刻。該系統的最大曝光面積為80 x 90厘米,光源為15厘米（6英寸）,最大晶圓尺寸為11英寸。該設備具有多種便於精確曝光的功能。它提供多種曝光模式,包括半自動、自動和手動過程。它還配備了厚/薄玻璃加工能力，允許從一次曝光平滑過渡到下一次曝光。此外，機器中還集成了一個對齊站，以提供曝光前基板的高精度對齊。MIDAS MDA-60FA可與用於過程監測和控制的數據采集系統集成在一起,並為視覺和計量提供多種選擇。它還為各種過程控制軟件包提供了可靠的平臺。該工具設計為極易維護,采用模塊化裝配設計,可輕松訪問其所有組件。它還配備了主動水冷資產，以確保穩定性和精確度，其他安全功能如緊急停止命令有助於保護操作員免受有害輻射暴露等潛在危害。MDA-60FA面罩對齊器很可能被證明是許多研究和生產光刻操作的寶貴工具，因為很少有對齊器能提供高精度結果和成本效益。對於較大的暴露區域和無懈可擊的對準控制,MIDAS MDA-60FA是理想的選擇。