二手 MIDAS MDA-60FA #9404360 待售

MIDAS MDA-60FA是由MIDAS開發的多光束激光掩模對準器。它用於生產半導體芯片和微電子器件，通過提供精確的定位、對準和快速操縱光掩模和基板。MDA-60FA有一個18英寸全圓、6軸計算機控制的運動控制。它具有多個掃描頻率、激光功率和分辨率,可以調整以實現精確對準。MIDAS MDA-60FA利用具有集成MCAT線性同步和XY粗移動的高精度雙級軸模塊。X-Y-Z級定位精度為+/-1.0微米,可重復性精度為0.3微米,速度為1 mm/s,加速度為0.02 μ m/s。MDA-60FA體積小巧,占地面積855x855x1400mm,重量155kg。MIDAS MDA-60FA的激光源是脈沖185nm激光器，脈寬為20-100 ms，每脈沖能量高達175mJ。其最小安裝可重復性為1µm，最小光束對準誤差為0.25µm，聚焦深度為2-5µm。激光光斑尺寸可從5-100 μ m調節，最小精度為0.2 μ m。MDA-60FA具有全方位的軟件功能,可實現可重復的對齊,以及快速的對齊設置時間。其軟件支持多種光刻格式，提供自動對準和失真校正，並支持擴展棋盤校準，以實現更高精度的對準。集成的MCAT激光同步功能通過連續對準激光源和圖像處理來確保超高速對準。總體而言,MIDAS MDA-60FA在半導體和MEMS應用的精確對準方面處於行業領先地位。其先進的運動控制、雙級模塊、激光源和綜合軟件功能相結合，為超精確對準和經濟高效運行提供了最佳性能。