二手 MIKASA M-2L #9296315 待售
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MIKASA M-2L是一種用於制造電子電路的高度精確的掩模對齊器。通過有選擇地將對齊的光刻膠膠片通過印刷的遮罩圖樣照射到光線中,機器在基板上蝕刻出精確的電氣元件圖樣。此掩碼對齊器非常適合從生產基本線性電路到高級顯示設備的超細線型等應用。M-2L設備的核心是精確、高分辨率的光學器件。該光學器件的吞吐量為4.8 µm(遠心率為6),有效分辨率為2.6 µm(相幹度為100%),定位精度為0.5 µm,可確保各種尺寸和形狀的圖樣能夠以優異的精度和可重復性來制作。此外,它還能夠將層配準對準0.25 µm以內,並在單次射擊時產生0.4 µm的線條/空間圖案間距。MIKASA M-2L系統針對高級性能進行了優化。通過其脈沖驅動均衡(PDE)功能,該單元精確監測光源的輸出強度,提供曝光參數的穩定性和可重復性。此外,地面設計最小化機器振動,有助於其出色的叠加配準性能。M-2L是為用戶友好和有效利用空間而設計的;該工具占用的空間不到3平方米,並對其狀況和狀態提供清晰的在線監控。此外,它的功耗很低(在110 VAC時6kW,這使其成為要求高精度且不影響能效的應用程序的理想選擇。總而言之,MIKASA M-2L掩模對齊器以高效的封裝提供高精度光刻。憑借出色的對準分辨率、強大的光學性能和獨特的PDE特性,它可以產生無與倫比的可重復性和準確性的廣泛電子電路。
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