二手 MIKASA MA-20 #9279286 待售

MIKASA MA-20掩模對齊器是一種光刻工具，用於將薄膜層定位在半導體基板表面。MA-20是一種高精度、非接觸式定位設備，具有亞微米精度，非常適合先進的光刻應用。MIKASA MA-20是一種光刻系統，它利用掩模表和多用途級在晶圓表面上產生所需的圖樣。舞臺上的真空卡盤有助於處理晶片表面。MASK表包括一個桌面和一個照相機,可參考照相機的視場和照明器投射的圖像。MASK設計可以根據應用的要求進行選擇，從標準的口罩到定制的圖案，圖像的準確性通過檢測器的自動校準來維持。MA-20還配備了多光束、高速掃描儀和照明器，以便為曝光過程獲得必要的照明。掃描儀可以以最高2000毫米/秒的速度移動,為各種應用程序提供必要的精度。照明器的可變強度範圍為1到100μW/cm2，並傳送與設計的掩模相對應的圖案，單次曝光的視場為6mm x 6mm。MIKASA MA-20提供了幾種增強光刻工藝的功能,可實現高精度、非接觸對齊。其中包括極低溫（LT）激光器、PCB優化的電機對準單元和自動對準功能。再者，MA-20有一個集成成像機，包括顯微鏡、內部系列鏡片和液晶顯示屏。這樣可以在照片校準過程之前、期間和之後準確檢查樣品。集成速率控制器通過控制反饋工具確保精確對齊。綜上所述，MIKASA MA-20是一種先進的光刻工具，旨在在半導體基板上產生精確的薄膜層。它提供了一系列優化對準的功能,包括多光束掃描儀、高速掃描儀和照明器、LT激光器、PCB優化的電機對準資產以及自動對準功能。MA-20還包括一個集成成像模型和一個速率控制器，以確保精確對準。