二手 MIKASA MA-20 #9394173 待售
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ID: 9394173
優質的: 1997
Mask aligner
Plate size, 4"
UV Light box
With multi faceted mirror
Illumination: >14mW/cm2
Uniformity of illumination: <4%
Lamp accumulator light meter
1997 vintage.
MIKASA MA-20 Mask Aligner是一種高度精確和可靠的Mask Aligner,設計用於對齊光掩模或標線和晶片。此對齊器提供了與平面曲面和3D曲面的精確對齊,並且可用於在分辨率高達2 μ m的矽晶片上創建陣列。它特別適用於半導體制造和其他需要精確標線放置的高精度應用。MA-20對齊器具有真空卡盤和XY軸級,可實現精確且可重復的對齊。其對準設備以專利激光反射角測量(LRAM)技術為基礎,利用激光源各角度測量標線和基板之間的相對位置。該對齊器還結合了邊緣檢測系統,用於檢測和準確識別目標信號,減少曝光時間並確保卓越精度。MIKASA MA-20的260 nm UV曝光裝置使較小的特征尺寸的生產具有極高的準確性和可重復性。它配備了大功率鹵素燈、紫外線濾光片和用於精確曝光控制的快門機。該對齊器還具有三維加熱孵化器,為精確的溫度控制和延長的標線壽命提供了受控環境。此外,MA-20還與基於Web的流程監控工具集成在一起,可輕松監控生產時間和標線壽命。它還允許用戶遠程調整機器參數,同時提供維護和報告日誌。MIKASA MA-20多年來一直為可靠和經濟高效的操作而設計,為用戶提供易於使用和高效的掩模對準器,具有卓越的圖像配準和對準精度。這種對齊器可以用來將圖樣轉移到各種各樣的基板上,包括矽片、玻璃、陶瓷和其他材料。MA-20 Mask Aligner結合了精度、可重復性和多功能性,是先進半導體制造工藝的理想解決方案。
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