二手 MIKASA ML-1 #293655508 待售

MIKASA ML-1 Mask Aligner是一種自動化的、高度精確的機器,用於制造集成電路（ICs）的光刻工藝。它用於精確定位由照片結構或光掩模組成的圖樣掩模,並將其與用於蝕刻到矽片表面的設計布局對齊。ML-1 Mask Aligner有一個具有四個線性運動級、兩個旋轉級和一個具有集成的多個預對齊和預拾取站的晶圓級的掩模級。它是專為大批量IC生產而設計的，覆蓋面積大，對準精度低於1.0 μ m。它利用紫外線光源、晶圓加熱系統和先進的掩模叠加測量工具進行精確的超層配準和最大的叠加精度。MIKASA ML-1 Mask Aligner通過其先進的光學系統以及每個半色調的自動增益和偏移控制,進一步增強了處理深層紫外線半色調的能力。系統還配備了2軸材料切割機、6軸臂和自動洗滌器作為自動掩模對準過程最大控制的附加選項。ML-1 Mask Aligner具有易於使用的用戶界面,可輕松開發、操作和存儲高級陣列參數。它的交互式圖形用戶界面使其能夠快速、方便地設計、編輯和創建生產所需的晶圓映射。此外,用戶友好的軟件簡化了用戶的數據管理和安裝過程。MIKASA ML-1 Mask Aligner還提供了多個用戶設置,包括其自動對齊過程,以便於適應各種生產需求和高端功能,如縮短周期和增強的過程控制功能。它還提供了一個AccuRitter （AR）特征跟蹤程序，該程序自動獲得深紫外線半色調光刻工藝的最佳坐標和路徑。ML-1 Mask Aligner具有所有特性和功能,是用於IC生產的高度先進和可靠的自動Mask Aligner。它是任何尋求以最大產量實現高質量IC生產的集成電路制造廠商必不可少的機器。