二手 NIKON Projection Aligner #200355 待售

NIKON Projection Aligner是一款用於微電子器件制造、光掩模生產、混合電路細線等先進光刻應用的掩模對齊器。該設備精度高，對準可靠，操作高效。它利用先進的光學技術在廣闊的視野中提供精確的對準,從而提高產量和提高產品質量。Projection Aligner具有由投影透鏡和望遠鏡組成的雙透鏡光學系統。設備的高級對齊算法使用投影圖像的對比度和對比度,以便在設備晶圓的區域上精確對齊,這些區域通常太小而無法手動對齊。通過利用具有同時兩軸（X-Y）移動掩模的遠心光學器件,該機器能夠在比手動對準時間短得多的時間範圍內準確可靠地對準≤ 200 um模式。NIKON Projection Aligner是一種3軸工具，具有快速掃描級設計，可以快速準確地將光掩模定位在投影方向上。快速掃描階段還允許在基板的多個部位進行自動對準和曝光，從而使大規模生產成為可能。透鏡-望遠鏡資產配備了沿Z軸對準的同步控制和自動對焦模型，以確保自由形式投影成像。此外，該設備還具有一個帶有LED光源的外部攝像頭和一個用於查看遮罩圖案或基板圖案的高分辨率顯示屏。如果需要手動對齊,此功能允許手動調整。Projection Aligner還具有高度靈敏的調整操縱桿和直觀的用戶界面,允許以最小的培訓要求快速輕松地操作。綜上所述,NIKON Projection Aligner提供高精度、可靠的對準和高效的操作,非常適合高科技光刻應用。快速掃描階段、直觀的用戶界面以及沿Z軸的同步控制,可以縮短時間範圍並提高產量。此外,外部照相機和LED光源允許手動對準和查看基板和掩模圖樣,從而確保了光掩模的準確定位。