二手 OAI 200 #9008675 待售

OAI 200，又稱Orion Aligner Mask，是一種用於半導體制造過程的高分辨率圖像對準設備。該系統用於測量和對齊半導體晶圓上的標記。200由覆蓋、非接觸式光學成像單元組成。機器測量由激光二極管或激光束創建的覆蓋網格標記的精確像素級位置。OAI 200使用高分辨率鏡頭和多軸舞臺來精確控制圖像的定向和配準。該工具由一個階段控制單元和一個檢測控制單元組成。舞臺控制單元精確控制舞臺向所需方向和位置的旋轉和傾斜，以捕獲圖像。檢測控制資產使用電光設備檢測圖像。它使用邊緣檢測或光中心檢測來捕獲和對齊圖像。200個模型測量從200 nm到800 nm的圖像覆蓋,並以1倍和4倍的速度工作。它能夠一次測量晶片的完整區域。設備可以測量圖像上的標記,這有助於最大程度地減少過度校準。這樣可以提高產品的產量。系統中使用的圖像分析軟件讓用戶自定義自己的響應函數，用於邊緣檢測、圓檢測和質心檢測。此外，OAI 200還有一個實時圖像捕獲單元，允許用戶同時捕獲和對齊多個圖像。機器可以在一次叠代中測量和對齊晶片的多個區域。該工具具有多種高級功能,如多模具堆棧的自動對準和多層多層基板。200還提供了高度精確的對齊特性和精確的對齊結果。OAI 200非常適合測量微觀光源的大小，快速測量小的小尺寸像素，制造產量極好的0.18微米芯片。該資產用於航空航天、汽車、醫療、半導體等多個行業。