二手 OAI 2000SM #9256685 待售

OAI 2000SM是OAI Corporation提供的高度精確、計算機控制的掩碼對齊器。該設備是專為半導體器件制造而設計的,非常適合陣列制作過程,例如光學寫入、蝕刻和開發最小尺寸為1 µm的器件。2000SM是一種基於雙軸伺服電機的高分辨率系統，其X軸和Y軸的精度提高到± 1 µm。它還提供高吞吐量,周期時間僅為1.7毫秒。該單元可確保出色的覆蓋精度,並具有最大5 µm的對準精度。它還可以處理厚達280mm厚的基板。OAI 2000SM具有高度靈活的機器體系結構,允許集成各種外圍設備組件以滿足客戶的特定要求。該工具可與多種設備集成，如光學步進器、濺射系統、批量紡紗機、蝕刻系統、離子植入器和擴散爐。該資產采用剛性鋁基板建造，可提供無與倫比的平整度和精確度。它還具有平板掃描功能，使掃描模式的快速設置和調整的工具。這樣可以減少將掩碼與基板對齊所需的時間,從而加快響應時間。2000SM是一種高度可靠的對齊器，符合為半導體制造制定的嚴格的安全性和可重復性標準。它在所有門和部件上都裝有安全互鎖，符合ESD（靜電放電）標準。它還具有警報模型，可以設置為在發生任何緊急情況時向操作員發出警報，從而確保可靠的操作。OAI 2000SM掩模對準器是半導體器件高精度成型的理想解決方案。該系統具有精確的對準精度、先進的設備架構以及可靠的安全和性能標準，非常適合半導體行業的苛刻要求。