二手 OAI 208S #9219993 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ID: 9219993
晶圓大小: 8”
Mask aligner, 8”
2000 Watt NUV bulb
365nm / 400nm Wavelength over 20 mW / Cm²
9" x 9" Square final lens for 8" x 8" exposure
Mask holder: 9" x 9"
Square substrate holder: 8" x 8"
(2) NAVITAR Video tubes
MITUTOYO Objectives: 5x
(2) Flat panel displays
LED Illumination cameras.
OAI 208S是一種掩模對齊器,是一種工業光刻機,將預定的圖樣投射到矽晶片上,以便在芯片制造過程中創建集成電路的電路拓撲。208S是一種高精度的機器,它提供了一個精細和精確的傳送投影模式到晶圓。OAI 208S模型具有雙轉向設備,可提高導軌穩定性和加工精度.這個模型還有一個光學整流系統,為遮罩圖案的角度失真提供校正。此外,208S有一個廣泛的對齊領域,支持大型和復雜的設計模式。OAI 208S是一種全場光刻機,使用HeNe氣體激光器將晶圓上的圖樣曝光。機器的兩個軸可針對遮罩圖案的方向進行編程,確保提高對準精度。晶片保持在卡盤上,並通過濾波器從激光中暴露於紫外線。晶片暴露在光線下後,使用透明的液冷窗口進行聚焦。此窗口有助於在整個曝光過程中保持準確性。208S具有可提高準確性的直接圖像叠加。此功能很重要,因為它無需為芯片的每一層創建單獨的掩碼。取而代之的是,將一層的圖樣與先前暴露的圖層進行比較,進行必要的調整。使用數字圖像控制單元(DICS)自動監控曝光過程。這臺機器允許在晶圓暴露時調整光照水平和曝光模式。然後可以存儲和分析數據,以確保重復過程的結果一致。總體而言,OAI 208S是一種高度精確可靠的光刻機,旨在快速有效地產生相同的集成電路。它能夠快速準確地將預定的圖樣投射到矽片上,並且可以針對一系列設計進行調整。這種掩碼對齊器提供了一種可靠的方法來一遍又一遍地產生相同的電路。
還沒有評論