二手 OAI 804 TSA #9311625 待售

OAI 804 TSA是由OAI（Opto-Automated Imaging）為工業光刻工藝開發的掩模對齊器。它是一種用於半導體制造的高度精確的儀器，負責將光掩模的圖樣精確地放置在半導體晶圓上。它對於將微小特性的模式（如產生集成電路所需的模式）傳輸到晶圓特別有用。804 TSA由光學系統、顯微管和探測器三部分組成。光學系統負責接收從構成設計的光掩模反射的光；它還將入射光分為兩個分量：線性和角形。角度分量用於測量晶片相對於光掩模的位置。線性分量負責將光聚焦到檢測器上，檢測器用於測量光掩模上的特征與晶圓上的特征之間的距離和角度。OAI 804 TSA的精度是通過使用微波器將晶片移動到精確、預定的位置來實現的。微波器負責以亞納米精度控制晶圓的運動。這樣可以將CAD文件精確地傳輸到晶圓上，然後可以用於半導體芯片的生產。804 TSA配備了一個檢測器，允許在多次曝光時進行圖像對準。此檢測器用於靜態和動態對齊。靜態對準利用激光快速對準單次曝光；動態對準使用視頻成像系統實時監控掩模位置,並確保將多次曝光精確對準晶片。總體而言，OAI 804 TSA是工業光刻必不可少的工具，是將設計精確轉移到半導體晶圓上所必需的。其精確的顯微檢測和檢測器允許傳輸高度精確的圖像,從而確保最高水平的制造精度。