二手 OAI Hybralign 200 #293590397 待售

OAI Hybralign 200是一款半自動的蒙版對準器，為光學光刻提供了先進的陣列平臺。該設備用於在光掩模上創建圖樣,這有助於創建精確尺寸的高分辨率結構。設備使用極紫外線投影成像，在光掩模上獲得所需的圖案。該系統采用雙光束投影單元設計，是大多數光刻應用的理想選擇。它的空間光調制器與激光投影工具集成在一起，使光掩模能夠精確圖樣化。激光投影工具使用檢流計進行動態光學對準和補償因機械振動和溫度變化而產生的誤差。這樣可以確保高精度對齊,而不會出現任何掩碼到掩碼的錯誤。機器的自動陣列引擎提供了靈活性,可以高精度地生成各種特征大小和布局。該工具配有CCD相機監控工具，用於圖像矢量對準和顯示。這有助於檢查整個過程中的陣列狀態。它的外部對準激光集成允許更精確的對準，這有助於在制造過程中獲得更高的產量。該機器還通過考慮光掩模布局中的機械和光學像差來提供先進的覆蓋公差。集成過程管理軟件設計為與作業調度軟件和CIM系統接口。這有助於創建用於制作光掩碼的自動化過程,從而幫助優化資產的吞吐量。該模型是用於光學光刻的高質量光掩模生產的可靠解決方案。它的高級功能和增強的規格確保在任何應用程序中獲得準確的結果。Hybralign 200具有很高的工藝控制和精度，這對於制造高分辨率的光掩模結構至關重要。