二手 OAI Hybralign 200 #293591858 待售
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OAI Hybralign 200是半導體工業用於精密晶圓對準的掩模對準器。此設備能夠每秒對齊多達200個晶片,從而允許在1秒內對齊一個完整晶片。Hybralign 200是一種獨特的工具,它結合了接觸掩碼對準器和光學掃描儀的最佳功能,可提供同類掩碼對準器中最高的精度和吞吐量。OAI Hybralign 200使用突出的對準銷和真空杯系統來精確定位和定位晶圓。該銷釘用於定位模具的外角，並通過專有的真空杯放置系統在晶片和Hybralign底板之間實現穩定連接。一旦晶片牢固地固定到位，就會使用四個具有不同光譜範圍的LED來檢測和對準晶片。這允許掃描和對齊不透明和半透明的蒙版。Hybralign 200還具有ContourFinder 2D TM模塊,該模塊在確定晶片形狀時增加了一層精度,並確保即使在具有挑戰性的情況下也能精確對準晶片。該裝置的分辨率為0.2um in x和Y,對準精度為15um。還有一個可選的分數對齊模式，可以提供額外的5um對齊精度。這種提高的精度使OAI Hybralign 200既可用於低成本設備,也可用於具有大量臨界點的設備。該系統還兼容各種類型的標線和口罩，包括塑料、金屬和圖案。Hybralign 200提供高吞吐量、精確的性能和可擴展性,使該設備可用於小型和大型芯片制造廠。這使得它成為晶片陣列和生產測試的理想工具。這種經濟高效的工具為各種半導體應用（包括高密度封裝、MEMS和嵌入式系統）提供了必要的速度和精度。
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