二手 OAI HYBRALIGN 400 #9012379 待售

ID: 9012379
Mask aligner HTG 500 W power supply OAI controller box Zeiss dual head alignment scope Objectives: 2x / 5x / 20x Stored in a cleanroom.
OAI HybriLign 400 Mask Aligner是一款功能強大、技術先進的Mask Aligner,旨在提高生產效率,同時最大限度地減少用戶操作時間。具有廣泛的對準功能,設計用於生產半導體晶圓、微電路和其他微集成元件。它是第一臺專為大批量生產而設計的薄晶圓掩模對準機。它將激光掩模對準技術與傳統的光影掩模對準和傳輸成像相結合,為半導體晶片制造中使用的掩模配準提供了亞微米精度。憑借在一個動作中對齊多個晶片的能力,它可以大幅減少對手動抽樣調整的需求,從而允許高吞吐量的制造。HybriLign 400具有兩個非接觸激光束源,一個光學物鏡系統,一個邊緣檢測子系統,以及一個具有各種放大倍率的數字視場。這使得它能夠非常快速、準確地定位蒙版圖案-分辨率高達1 µm ±-同時在圖案周圍留下一個完全可控的無標記區域。視圖字段也延伸到不同的字段中,以實現從不同角度同時對齊。這在需要更高精度時提供了更高的準確性。它還允許高速生產復雜的圖樣,而不是傳統的光影遮罩對準所難以生產的。此外,HybriLign 400還提供了一個專有的Active Level Alignment功能,可以快速糾正預定圖層中的任何錯誤對齊。這為操作員提供了一種更精確的監視掩碼對齊方式的方法,因為可以近乎實時地糾正錯誤。HybriLign 400先進的設計和技術使其成為制造微集成器件時高性能和精確度的理想選擇。其處理薄晶片生產和原位對準的能力使其在競爭中脫穎而出。
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