二手 OAI HYBRALIGN 400 #9140530 待售

OAI HYBRALIGN 400是一種先進的用於顯微光刻應用的掩模對準設備。該系統是市場上最精確可靠的掩模對齊器之一。HYBRALIGN 400是一個混合單元，結合了自下而上的對準（基於掩模圖像的對準）和自上而下的對準（基於晶圓圖像的對準）。自下而上的對齊功能可實現極其精確可靠的圖像對齊；而自上而下的對齊方式可確保晶圓上關鍵尺寸的準確性。機器能夠高精度地識別掩模和晶圓圖像中的小錐度和幾何形狀。OAI HYBRALIGN 400能夠使用超高分辨率CCD對準傳感器控制1 µm以內的對準。它還配備了高速、高精度的掃描級，能夠達到最高200毫米/秒的舞臺速度。HYBRALIGN 400支持用於氣隙應用的精密離軸對準，並提供防開花技術以避免設備晶圓上的對準中心過度暴露。該工具配備了高性能並行GPU計算能力，以提高直通運算能力，減少運行時間。OAI HYBRALIGN 400還具有直觀的用戶界面,可實現高效、輕松的操作。它可以與軟件系統聯網，以允許數據交換和遠程操作。它提供實時的信息性數據來監視和調整對齊過程，並且可以在安靜和清潔的環境中操作。HYBRALIGN 400掩模對準器為微光刻應用提供了先進的能力和精確度，使其成為用於半導體、顯示器、醫療和光學設備制造等多個行業的理想資產。