二手 OAI HYBRALIGN 500 #133785 待售

OAI HYBRALIGN 500是一款功能強大的掩模對齊器,非常適合集成電路生產中的先進陣列技術。該設備有三種型號：HYBRALIGN 500A、500B和500C，每種型號的設計都可以容納不同厚度的口罩和基板。HYBRALIGN 500配備了一個投影成像設備，以400nm的波長運行，將通過掩模傳輸的激光置於基板的光阻劑上。然後,系統可以通過現有的或新投影的模式記錄對齊標記在掩模和基板上的位置。一個精密的電動級也被用來精確的瞄準在2微米以內的對準。該單元能夠在每個對準和曝光步驟之前應用光敏塗層，並利用先進的模式匹配算法進行高精度對準。可以添加自動模式匹配、即時糾錯和硬實時對齊等可選功能,以提高效率、吞吐量和降低總成本。OAI HYBRALIGN 500還得益於一種緊湊的模塊化設計,它占用的空間最小,而模塊化運動機器的設計滿足了許多生產任務和技術的需求。提供了可自定義的軟件包,以方便傳輸基本數據,如對齊和曝光標記。用戶友好的圖形界面使用戶能夠在不進行復雜編碼的情況下設置曝光參數和查看數據。此外,HYBRALIGN 500符合SEMI行業標準,並輔以全面的技術支持,以確保最高的運營效率和性能。它是先進光刻技術的理想解決方案，需要高精度的掩模對準和圖樣傳遞。