二手 OAI HYBRALIGN 500 #9012380 待售

OAI HYBRALIGN 500是集成電路（IC）開發中用於光刻工藝的專業掩模對準器。它是一種步進器,用於對基板上的圖樣進行成像。HYBRALIGN 500是一個雙場機器，意味著它有兩個場可以同時用來成像。這允許字段之間的快速交換以及同一模式內不同掩碼的垂直對齊。OAI HYBRALIGN 500的分辨率為0.2 μ m或更大,具體取決於步進參數。其特點包括焦點深度優化、紫外線曝光、對準和聚焦系統。它還包括曝光控制單元（ECU）,用於優化每次曝光的設置,以確保最高的精度和最高的圖像質量。然後,處理器將編譯曝光數據並將其直接發送到對齊器。HYBRALIGN 500還配備了一個非球形圓柱，允許最精確的對齊和最高的分辨率在匹配模式。它還有一個先進的掩碼對準系統，可以補償由於步進移位造成的模式上的任何差異。此外，它還有一個防漂移系統，該系統不斷地將錯位保持在允許的最大值內，從而提高了光刻工藝的總產量。該機還支持一系列高達8英寸的遮罩尺寸，具有激光抵抗曝光和激光源定向曝光等直接和間接成像功能。此外,它還包括一個用於最大程度減少汙染的清潔汙染核心單元,以及一個內置旋轉階段的子場成像選項。OAI HYBRALIGN 500具有刀刃法、Bessel光束法和空氣軸承臺式傳動等多種內置特性，可精確控制曝光和圖像分辨率。此外,HYBRALIGN 500采用人體工程學設計,易於維護和平穩運行。它還兼容各種類型的步進器，使其適用於一系列行業。總體而言，OAI HYBRALIGN 500是一款高度先進的掩模對準器，為集成電路的發展提供了卓越的圖像分辨率和高精度光刻技術。其先進的特點不僅提供高產率，而且最大限度地提高吞吐量，減少制造過程中的缺陷。