二手 OAI Hybralign Series 400 #9096376 待售
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ID: 9096376
晶圓大小: 8"
Mask aligner, 8"
10" Collimated beam with mask holder
Nikon Stereozoom optics
Bulb, 350W.
OAI Hybralign Series 400是一款口罩對齊器,旨在為半導體工業中的光刻應用生產精確、高品質的口罩。它使用先進的光學成像系統,可以成像和蝕刻尺寸小至兩微米的特征。掩模對準器具有晶片級,能夠達到三微米的重復性。舞臺可以容納最大直徑300毫米的大型晶片。Hybralign Series 400使用顯微鏡和激光對準的組合,將掩模圖案精確對準晶圓。它使用高達10倍放大倍率的高分辨率光學光學顯微鏡,精確檢測並銳利鎖定圖樣的對準。此外,激光對準系統對晶片進行高精度掃描,使圖像與四個或五個參考點對準。Hybralign的對準精度非常精確,重新定位精度為+/-0.5 μ m。這樣可以確保在晶片上精確地再現掩模圖樣的特征。它還能夠根據所需的應用對深度範圍內的層進行蝕刻。OAI Hybralign Series 400還具有用戶友好界面,允許用戶快速設置和運行作業。它還設計為與GDS II格式文件兼容,使其更容易讀取和可視化掩碼模式。此外,還可以通過控制面板遠程監視設置和對齊過程。總體而言,Hybralign Series 400是專門為半導體工業中的光刻應用而設計的高精度掩模對齊器。其先進的光學成像和激光對準系統確保其能夠生產精密和高質量的口罩,定位精度高達0.5 μ米。此外,它的用戶友好界面允許用戶快速設置和運行作業,而且它也與GDS II格式兼容。
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