二手 OAI J500-IR/VIS #9267335 待售

OAI J500-IR/VIS是OAI開發的掩碼對齊器。這種設備使用短波長紅外（IR）或可見（VIS）輻射在集成電路（IC）基板上執行臨界光刻步驟。這使得半導體制造過程準確、精確、高效。該器件基於圖樣化的階梯式石英基板，與晶圓表面對齊。然後將半導體基板暴露在紅外輻射下，然後用它來精確定位晶圓上方有圖樣的石英基板。OAI J500-IR/VIS采用液晶顯示屏（LCD）使p+元素與圖樣石英基板對齊。對準過程從基於液晶屏的基板的精確定位開始。然後，用一系列的紫外線（UV）光源來照射基板。通過適當控制紫外線的運動，圖樣被精確地轉移到基板上。紫外線將石英反射到基板上，將定義的圖樣傳遞到晶圓上。通過吸塵室和可膨脹波紋管系統的結合，OAI J500-IR/VIS實現了精確的模式定位和對準。一旦圖樣被轉移，真空系統維持室內的壓力，幫助面罩與基板完美對齊。柔性波紋管有助於保持腔室內的壓力，提高其整體精度。該設備允許用戶進行各種修改和調整。這包括選擇對準器、曝光角度、對準系統和照明條件。該設備還可以升級和定制,並具有其他功能和選項。OAI J500-IR/VIS的熱門應用領域包括MEMS、顯示器、微觀結構、激光光學、醫療和光電器件以及半導體器件。OAI J500-IR/VIS是任何IR或VIS投影對齊器要求的理想選擇,因為它提供高分辨率圖像和卓越的速度。