二手 OAI J500 / VIS #293668356 待售

OAI J500/VIS是一種用於晶圓處理的高級高精度掩碼對齊器。它被設計為光刻操作設備,並憑借其自動化的智能功能提供卓越的性能。J500/VIS掩模對齊器具有高分辨率能力,表面精度高達0.7 μ m,可用於各種晶圓工藝。掩模對齊器包含一個直觀的控制軟件，用於快速、方便地設置光刻工藝參數。此外，系統還配有高分辨率晶片級電子成像單元，用於將掩模精確對準晶片。蒙版對齊器具有內置的曝光模擬功能,可在繼續實際蒙版之前識別陣列中的錯誤。此功能允許在將光掩碼引入過程之前糾正光掩碼中的錯誤。此外,OAI J500/VIS還包括多場縫合精度、分段視圖和自動智能自對齊機。自動化智能自對準工具利用智能算法的力量，根據幾個晶圓特性快速計算出最優參數。這包括能夠自動確定任務所需的最佳模式密度、暴露劑量和焦點。J500/VIS操作高效、準確，是保證光刻晶片加工質量的理想工具。