二手 OAI J500 #293810208 待售
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ID: 293810208
晶圓大小: 8"
Mask aligner, 8"
Lamp house: 360-440 nm
Wavelength: 1Kw NUV, 365/400 nm sensor
NAVITAR Adjustable optics
PULNIX 7CN Camera
MITUTOYO Lens
Mask frame size: 4"-5"
UV Lamp: 1000W NUV.
OAI J500是一種用於制造集成電路的半導體光刻屏蔽對準器。掩模對齊器能夠將掩模或光掩模與晶片對齊，其精度為納米級。這是通過投影對準，並通過角度調整和掃描顯微鏡輔助完成。遮罩對準器由一個光學投影系統組成，包含四個主要組成部分：光源、投影光學器件、遮罩級和晶片級。光源可以從激光、LED和電弧燈中選擇，波長和功率輸出範圍不同。投影光學器件將掩模放大並投射到晶片上，並具有標線、掃描鏡頭和冷凝器鏡頭。標線用於調整掩模圖案的大小、形狀和角度方向,而掃描鏡頭則用於校正掩模布局的焦點。使用冷凝器透鏡在晶圓上形成掩模的圖像。掩模級用來固定光掩模，可以三維移動，使掩模和晶圓對齊。它具有具有閉環伺服系統的低速慣性系統，提供XYZ位置精度。遮罩臺還裝有彩色對準光學器件，可以對投影光學器件引起的像差進行3D補償。晶片級用作掩模層對齊的基板。它是由陶瓷材料，並能夠旋轉對準和超平滑掃描與最小的雜散場。掩模和晶片的對準需要高度的精度，最佳精度為0.4微米的制圖。J500掩模對準器是半導體光刻的重要工具，用於集成電路和其他微電子元件的制造過程。在要求最苛刻的半導體工藝中，它可以提供納米級的精度和準確性，同時保持高吞吐量和可靠性。
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