二手 ORIEL 8097 #9096377 待售

ORIEL 8097是在設備制造過程中使用的Aligner-Prober Mask Stepper。它用於將從標線獲得的光刻膠圖樣轉移到矽基板上，以進行精確的對準和受控沈積。面罩對準器具有42毫米自動的標線交換設備,可加快裝載速度,促進高效的生產過程。8097的標準視場（FOV）為8x8英寸,配有自動晶圓索引系統,用於對齊過程中的全場控制。此外,其XY運動控制功能,加上其他配置選項（如自動對焦、背面對齊和模模對齊選項）,提供了靈活的對齊方案。全場對準器還配備了一個視覺單元，通過擴展的20位成像處理器和具有全球快門技術的高分辨率0.74 µm TV Spot CCD相機進行精確對準。ORIEL 8097具有多種對齊模式，包括像素掩碼匹配、亮場、edgescan晶片叠加、模式檢測、實時檢查。此外,它的標線還具有自動對焦機構,通過手動和算法坐標調整進行精確控制.此外，它還配備了多種線性和分段執行器，用於基板或掩模對準的精確平行性和平面性。8097由Linux實時操作機器和人機接口（HMI）提供支持,以實現高效操作。其步進分辨率為0.5-1.0 µm，最大書寫場可達4英寸，舞臺精度為8.0 µm（3-Sigma）。整個工具在晶片盒式環境中運行，能夠容納8英寸至200毫米晶片，以及在標線盒中最多42毫米的標線。其圖形用戶界面（GUI）實現了程序設置和自動步進控制。此外,ORIEL 8097還配備了一個集成的高真空（HV）等離子體除塵站和一個真空光暈還原站,以盡量減少顆粒濃度。此外，它還包括一個加熱夾緊卡盤，以最大程度地減少對基板的熱應力影響，一個用於暴露於紫外線光源的紫外線泛光燈，以及一個± 100 µm精度的綜合屋頂升降機資產，用於控制面罩和晶圓之間距離到亞微米精度。總之,8097是一種考慮到精度、可靠性和可擴展性的掩碼對齊器.光刻膠沈積在基板上的精度和速度是理想的選擇。此步進器的設計目的是提供最多三年的產品壽命,從而確保高投資回報和高效生產。