二手 PERKIN ELMER 300 #9174286 待售
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PERKIN ELMER 300是一種用於光刻的掩模對齊器-一種用於在基板上創建圖樣的工藝。它是一種高精度對準工具,用於將特征從光掩模精確地再現到矽晶片或其他基板上。300特別用於半導體和其他相關行業的光刻工藝。PERKIN ELMER 300使用x軸、y軸和theta(θ)軸運行。它可以執行所有三個級別的對齊:一維、二維和三維。X軸和y軸負責橫向定位,theta軸負責旋轉對齊。由300提供的精密對準保證了光掩模上的圖樣在半導體晶片上的精確再現。這是通過使用機器的x軸、y軸和theta軸將矽基板相對於光掩模精確對齊而實現的。PERKIN ELMER 300在對準過程中采用了光學視覺識別和自動對準技術。光學視覺識別設備檢測基板上的圖樣,而自動對準系統自動執行對準過程。另外,300裝有一個可調的孔徑,可以調節光掩模在基板上的暴露劑量。這有助於降低光刻工藝的可變性,提高圖樣傳遞的精度。PERKIN ELMER 300還設有一個成像單元,利用紫外線和可見光檢查所用材料的基板和光敏度。這種檢查有助於在成像之前檢測底物的缺陷或任何不規則性。該機還可用於測量基板的厚度和步高,以及創建橫截面圖像。300是許多實驗室用於光刻工藝的強大而高效的工具。它是半導體工業中使用最廣泛的掩模對齊器之一,因為它提供了一種快速準確的模式從光掩模轉移到基板的方法。PERKIN ELMER 300提供的操作簡便和高精度,使其成為從事半導體行業的公司和實驗室的理想選擇。
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