二手 PERKIN ELMER 340 #293643187 待售
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PERKIN ELMER 340 Mask Aligner是一種用於生產微型光刻口罩的光刻工具。它設計用於暴露多種面膜層,包括鉻、石英和鋁,使用紫外線(UV)光。Mask Aligner是電動的,由Windows操作設備控制。340 Mask Aligner專為光學Mask的快速準確對準而設計。它具有一個微處理器控制的舞臺和一個內置的自動對齊功能,允許非常精確的對齊層。「遮罩對齊器」還具有一個傳感器系統,稱為陰影對齊遮罩,使其能夠準確檢測被曝光層的位置和方向。Mask Aligner的舞臺速度高達25 cm/s,允許快速處理層。PERKIN ELMER 340 Mask Aligner能夠生產高質量的光刻口罩,最大分辨率為0.8微米,最小特征尺寸為1.2微米。Mask Aligner還具有激光束入射對準單元,它允許對面罩進行極其精確的對準,精度為10 μ m或更高。本機利用反射激光,能夠檢測最小特征尺寸的細節,適用於各種基板。Mask Aligner還配備了一個車載集成CCD攝像頭,用於目視檢查Mask。這是通過在光刻的不同階段捕獲掩模的圖像,然後將圖像發送到計算機進行進一步的分析和比較來完成的。此工具允許用戶快速檢測屏蔽的缺陷、不規則性和不對齊。Mask Aligner具有快速更換液晶屏,能夠在各種光刻工藝之間快速切換。這使操作員能夠從一個流程快速切換到另一個流程,從而減少停機時間並提高效率。Mask Aligner還允許操作員為不同的Mask保存和調用不同的對齊設置,從而使他們能夠快速、精確地處理多個Mask,而無需每次調整設置。340 Mask Aligner能夠為各種微電子設備和應用生產高質量的光刻口罩。憑借其高分辨率和精確度,這款Mask Aligner可用於生產從納米級到先進微電子的各種產品的Mask。
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