二手 PERKIN ELMER 600 series #9056496 待售

PERKIN ELMER 600系列掩模對準器是一種廣泛使用的用於光刻的半導體制造設備。該設備使用遮罩圖像的光學投影在晶片或基板上均勻地曝光光刻膠。對準過程采用計算機控制的步進電機，精度高。這種裝置設計用於生產直徑不超過6英寸的晶片和芯片。它有一個5軸定位系統，可以在精度0.1微米範圍內精確對齊和構造晶圓上的圖樣。該單位由四個主要組成部分組成；舞臺，步進電機，燈和控制器。該級用於移動和定位打印成像布局的基板或晶片。使用步進電機,臺階能夠在三個軸上精確旋轉和彎曲基板,以便在基板上正確對齊光學布局。用於對準過程的燈是一種高強度的紫外線燈，它提供足夠的能量來充分暴露光致抗蝕層。控制器是通過為步進電機供電和控制其他操作（如曝光時間、快門速度和焦點）來引導設備的軟件組件。PERKIN ELMER機器的用戶界面允許用戶快速、輕松地設置對齊參數。它還具有常見的模式校正工具，如放大、失真控制和旋轉偏移校正。此外,工具控制允許用戶訪問每個作業的各種電源、強度和循環設置。PERKIN ELMER資產提供高質量的性能,這在半導體制造中是必不可少的.它提供均勻的曝光，允許精確的模式轉移。該模型還包括內置的安全特性，如控制對準壓力，避免過度照明和預測源故障。此外,建議對掩碼對齊器進行定期維護,以確保每個作業都有準確的對齊過程。總而言之，600系列遮罩對準器是半導體制造中光刻高精度對準所必需的設備。