二手 PERKIN ELMER Micralign 220 #9233008 待售

PERKIN ELMER Micralign 220 Mask Aligner是一種多用途的半導體光刻遮罩對準器，提供高精度的優異效果。它是各種應用程序的理想工具,從需要從一層到下一層無縫、準確過渡的組件的中低體積生產。Micralign 220 Mask Aligner使用兩個相反的X-Y級來精確定位屏蔽,並將晶片暴露在18 x 20和36 x 40mm的基板上。晶圓、水和對準升力表面的三維測量可確保精度和設備的一微米精度。這種精確度是通過使用步進運動的墊層控制，結合保證無漂移操作的XY交叉遠心傳感系統來實現的。PERKIN ELMER Micralign 220 Mask Aligner還提供可選的集成晶圓處理,可實現單獨對準和曝光。該單元具有步進驅動的對齊機制,該機制允許有廣泛的對齊角度,並且還可以執行並行或串行對齊。它采用高功率、多光譜的光學投影獲得25微米或更好的對準精度和3微米的最小特征尺寸。Micralign 220 Mask Aligner專為高通量應用而設計,可選的多曝光機可確保同時曝光多個基板,從而提高效率。PERKIN ELMER Micralign 220 Mask Aligner還包括直觀的用戶界面，便於控制和使用。它有一個內置的校準工具，當暴露發生在目標窗口之外時自動調整資產。該模型還配備了獲得專利的MEMS（微型機電設備）相移系統，確保所有各種接觸在叠加過程中都實現了相同的相移，並保持了整個過程的穩定性。最後，該裝置包括一個溫度和濕度控制機器，以確保在最佳環境下進行對準和曝光過程。Micralign 220 Mask Aligner專為實現最大的重復性和準確性而設計,是各種Mask對準和光刻應用的完美工具。它的多功能性和直觀的用戶界面使其成為需要高精度和速度的應用程序的理想工具。