二手 RORZE RA410-812-101-1 #9384821 待售

RORZE RA410-812-101-1是一種用於在半導體晶片上蝕刻精確圖樣和結構的掩模對齊器。它使用光，通常是紫外線（UV）光，在一個稱為光刻的過程中將圖樣從光掩模轉移到晶圓上。RA410-812-101-1中的光束由紫外線輻射組成，通常波長在365至405納米之間。通常,掩模對齊器包含兩個晶片級。首先是傳輸階段，通過定位編碼器的方式精確移動掩碼和晶片。二是曝光階段，由光源、遮罩架、光準直設備和光學投影系統組成。遮罩架持有光掩模，這是一個二色玻璃含有蝕刻在鉻圖案。光學投影單元使用透鏡和反射鏡的組合，將掩模圖案投影到晶圓表面上。RORZE RA410-812-101-1還配備了帶有觸摸屏LCD的控制單元，提供實時參數信息，如熱漂移、舞臺對準、光束對準等。這個控制單元還包括一個測量站。該工作站包含精確的測量編碼器，用於檢測和補償運動過程中掩模和晶片的任何失真。RA410-812-101-1還包含一個精確的溫度控制機。這一點很重要，因為它有助於確保晶片在暴露過程中不會發生熱膨脹，因為這會導致圖樣變形並損壞晶片。溫度控制工具可以將晶圓的溫度保持在0.2°C ±以內。該RA410-812-101-1can減少了曝光時間,最小化了裝配時間,並顯示了具有高通量、重復性和準確性的掩模公差內的邊緣變形、遮蔽和臨界尺寸。總體而言，RORZE RA410-812-101-1掩模對準器是一種可靠、精確的半導體晶片蝕刻圖樣的機器。它的設計保證了掩模和晶片的精確移動，圖案的精確投影，溫度保持恒定。最終，這種掩模對齊器提供了制造先進半導體器件所需的精度。