二手 SEMI DARIN SDMA-12SA #293760484 待售
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單擊可縮放
ID: 293760484
晶圓大小: 8"-12"
優質的: 2023
Mask aligner, 8"-12"
Back Side Alignment (BSA)
Chiller
Vacuum chuck, 8"-12"
Mask holder, 8"-12"
Lamp house module:
LED Holder
(9) UV LED Light source modules
Wavelength: 365 nm
Intensity: 20 mW/cm²
Uniformity: ±4%
Top scale module:
Dual CCD Zoom
Dual X, Y, and Z Motorize
Objective spacing: 140-310
Back side module:
Dual CCD Motorize
Dual X, Y, and Z Motorize
Objective spacing: 140-270
Leveling stage module:
Auto leveling system
Manual X and Y Micrometer
Θ and Z-Axis motorizing
Z-Axis alignment gap: 20-200 µm
Temperature controller
Flow meter sensor
PC
Monitor
Data logging
Power supply
2023 vintage.
SEMI DARIN SDMA-12SA是一種最先進的掩模對齊器,為半導體行業提供精確高效的光刻能力。此高級工具旨在為亞微米特性提供高分辨率陣列,使其非常適合制造高級半導體器件和組件。SDMA-12SA具有堅固而穩定的平臺,可確保一致和可靠的對齊和曝光過程。該設備配備了先進的對準技術,包括頂部和底部對準、自動對準和高分辨率CCD攝像機,使口罩和基板精確對準亞微米精度。SEMI DARIN SDMA-12SA的一個關鍵特征是它的高強度紫外線光源,它為曝光光刻材料提供了均勻而強烈的照明。這樣就形成了清晰、定義明確的模式,對蒙版設計具有很高的保真度。該系統還提供了可調曝光劑量和曝光時間的選項,允許用戶優化不同光刻材料和基材類型的工藝參數。除了精確的調整和曝光功能外,SDMA-12SA還配備了先進的自動化功能,可提高生產環境中的生產率和效率。該單元包括自動化裝卸機制以及軟件控制的流程排序,以簡化操作。這種自動化減少了人工幹預,並最大程度地減少了潛在的錯誤,從而提高了吞吐量和改進了流程可重復性。SEMI DARIN SDMA-12SA的設計也考慮到靈活性,允許用戶使用各種面罩尺寸和類型。該機器支持標準的光掩碼和定制設計的掩碼,使用戶能夠為各種半導體應用程序創建復雜而獨特的模式。該工具還提供了多種曝光模式的選項,包括接近模式、軟接觸模式和硬接觸模式,使用戶可以靈活地根據自己的特定要求選擇最佳曝光方法。此外,SDMA-12SA還配備了高級軟件控制和監控功能,使用戶能夠輕松地實時編程和監控對齊和曝光過程。資產包括提供直觀操作和控制的用戶友好界面,以及用於流程優化和質量控制的全面數據記錄和分析工具。總體而言,SEMI DARIN SDMA-12SA是一款用途廣泛且可靠的掩模對齊器,可為半導體制造應用提供高性能的光刻功能。憑借先進的對齊和曝光技術、自動化的特性、靈活性和用戶友好的界面,該模型成為生產具有復雜和精確模式的高質量半導體器件的重要工具。其強大的設計和卓越的性能使其成為尋求在制造過程中取得最佳結果的半導體制造設施的寶貴資產。
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