二手 SHINUMST CA-6AM #293602547 待售

SHINUMST CA-6AM是一種用於制造半導體集成電路的光刻工藝的掩模對齊器。它旨在讓制造商創造微型、高精度的圖案。對齊器的工作原理是通過遮罩投射光，遮罩用於創建傳遞到晶圓或光致抗蝕劑上的圖樣。CA-6AM使用先進的光學設備,使用戶能夠對圖樣進行極其精確的調整,並更容易用均勻的光刻膠層覆蓋掩模。該機既可容納正負光刻膠，也可用於制作各種分辨率範圍的圖案。SHINUMST CA-6AM具有自動對齊系統,該系統可自動找到遮罩和基板的最佳對齊方式,從而確保圖樣被精確地轉移到基板上。對齊單元還簡化了設置時間，允許用戶從一個對齊快速移動到另一個對齊。機器還包括一個機器視覺工具，使用激光和照相機來監控每個對準的準確性。CA-6AM具有一系列的特點，使其適合在高速下產生復雜的模式。它具有80千瓦（kW）氦激光器和高速掃描資產，可產生最小線寬0.2 μ m、最小線距0.3 μ m的圖樣。SHINUMST CA-6AM還有一個高分辨率的直視攝像頭，它向操作員提供反饋，使調整對準更加容易。相機還具有屏幕識別和測量功能。CA-6AM使用戶能夠輕松編程所需的曝光時間和設置,從而確保在多次曝光時獲得一致的結果。此外,該模型還可以遠程控制曝光時間和激光電源,使用戶能夠在長時間運行中進行快速、準確的校正。SHINUMST CA-6AM還與各種光掩碼兼容，允許用戶使用自己的自定義掩碼。總體而言，CA-6AM是一種高精度的掩模對齊器，能夠在一系列不同的基板上創建極其精確的圖樣。它具有先進的光學設備和自動對準系統，確保精確的模式傳輸。它還有一個80 kW的氦激光器和一個高速掃描裝置，能夠產生最小線寬為0.2 μ m的圖樣。此外,SHINUMST CA-6AM可以向操作員提供反饋,並且與各種光掩碼兼容。