二手 SVG Micralign 600HT #9400549 待售
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ID: 9400549
晶圓大小: 6"
Projection mask aligner, 6"
Running hours: 37,827
AIM Advanced interface
PC Control (computer untested)
(15) CAMBRIDGE Instruments eye pieces
Detachable keyboard
Operation and training manuals included
Power supply: 208/220/240V, 60Hz, Single phase.
SVG Micralign 600HT是為光刻工藝設計的最先進的掩模對齊器。它非常適合涵蓋從最小特征尺寸1.2 μ m到200 μ m的廣泛應用,包括步進、重復和全場對齊。掩模對齊器由一個裝有掩模的工藝室和一個晶片級組成，晶片在該級放置用於曝光。利用激光幹涉儀實現對準，激光幹涉儀檢測晶片的地形，以精細調整掩模和晶片的位置，使它們完全對準。Micralign 600HT允許用戶從各種照明源和放大倍數中進行選擇,從而產生亞微米的特征大小。不僅如此,SVG Micralign 600HT還利用Chuck Impulse Technology消除了流體掩模損壞,並實現了高達每小時16.6晶圓的吞吐量。此外，該機采用200 mm級而不是150 mm級，因此可以容納更多晶圓，進一步提高吞吐量。該工具配備了專有的VariThermal Process Control （VPTC）設備,可確保在處理和對準過程中掩模和晶片保持在適當的溫度下。該系統采用動態溫度控制,可實現最佳晶片和掩模溫度補償.使用此單元,可以快速輕松地調整工藝設置,以適應各種環境和不同的掩模材料。此外,Micralign 600HT可確保極高的分辨率,具有33nm的子像素對齊精度和小於1um的扭曲誤差。這使得它成為先進的IC和BIOS技術的理想工具。最後，該機還配有一個非常方便用戶的軟件機，使操作和維護變得簡單易行，減少了停機時間，提高了芯片產量。
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